在集成電路制造中，化學(xué)機(jī)械（CMP）拋光液如同芯片制造的“終極美容師”，需在原子級(jí)精度上實(shí)現(xiàn)晶圓表面平整，其中任何粒徑的偏差都影響電路品質(zhì)好壞，因此，CMP拋光液曾一度被國(guó)際化工巨頭壟斷，如今柯橋經(jīng)開(kāi)區(qū)（金柯橋科技城）一家科創(chuàng)企業(yè)一舉突圍，自主研發(fā)生產(chǎn)氧化鈰、氧化硅拋光液，并成功實(shí)現(xiàn)規(guī)?；慨a(chǎn)，撕開(kāi)了國(guó)產(chǎn)化替代的突破口。

這家科創(chuàng)企業(yè)就是柯橋經(jīng)開(kāi)區(qū)（金柯橋科技城）的人才企業(yè)——齊芯微（紹興）電子材料科技有限公司。

高質(zhì)量補(bǔ)強(qiáng)助力產(chǎn)業(yè)鏈

走進(jìn)位于壹迦科技產(chǎn)業(yè)園的齊芯微（紹興）電子材料科技有限公司的生產(chǎn)車間，嶄新的生產(chǎn)設(shè)備整齊排列，各個(gè)生產(chǎn)環(huán)節(jié)在系統(tǒng)操作下有條不紊進(jìn)行，身著制服的技術(shù)人員正忙碌著。連日來(lái)，“齊芯微”制造的國(guó)產(chǎn)納米氧化鈰拋光液源源不斷灌裝入庫(kù)?！斑@里是即將交付的百萬(wàn)級(jí)訂單?！痹诂F(xiàn)場(chǎng)，公司創(chuàng)始人周烈欣喜地說(shuō)道，“去年11月份，隨著購(gòu)置的生產(chǎn)設(shè)備逐步到位，項(xiàng)目正式實(shí)現(xiàn)試生產(chǎn)，目前部分產(chǎn)品正送樣測(cè)試，訂單情況充足?！?/p>

“化學(xué)機(jī)械拋光液是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈中重要環(huán)節(jié)，就目前來(lái)說(shuō)，這一過(guò)程中使用到的氧化鈰、氧化硅等拋光液，長(zhǎng)期依賴國(guó)外進(jìn)口?！敝芰医忉尩?，正是瞅準(zhǔn)了這一細(xì)分賽道的“國(guó)產(chǎn)替代”，自己和創(chuàng)始團(tuán)隊(duì)的成員們憑借在該行業(yè)10余年的工作經(jīng)驗(yàn)和技術(shù)積淀，研發(fā)出獨(dú)特技術(shù)，并達(dá)到國(guó)內(nèi)外領(lǐng)先水平。

隨著國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體先進(jìn)制程從28nm向14nm進(jìn)階，單顆芯片的拋光步驟也隨之激增，拋光液用量更是呈現(xiàn)出5至8倍增長(zhǎng)，這些都給予了CMP拋光液廣闊的市場(chǎng)前景。為此，“齊芯微”在依托柯橋生產(chǎn)基地的基礎(chǔ)上，精益求精不斷研發(fā)，目前公司具備“研發(fā)-中試-量產(chǎn)”的垂直整合能力，并已通過(guò)國(guó)內(nèi)頭部晶圓廠的技術(shù)驗(yàn)證。

全流程服務(wù)跑出“加速度”

產(chǎn)品一經(jīng)問(wèn)世，就贏得國(guó)內(nèi)頭部晶圓廠的青睞，作為一家外來(lái)的科創(chuàng)企業(yè)，“齊芯微”能如此之快在柯橋這片土地上“落地生根結(jié)果”，快速融入到紹興半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈，這其中離不開(kāi)柯橋經(jīng)開(kāi)區(qū)（金柯橋科技城）的“全流程服務(wù)”。

“無(wú)論是在前期的資金扶持上，還是生產(chǎn)場(chǎng)地的對(duì)接，以及幫忙介紹下游客戶，柯橋經(jīng)開(kāi)區(qū)（金柯橋科技城）在項(xiàng)目推進(jìn)過(guò)程中都給予了不少幫助，這些都讓我們感受到來(lái)自政府的滿滿誠(chéng)意。”周烈表示，“齊芯微”通過(guò)柯橋區(qū)“人才+平臺(tái)”A類項(xiàng)目引進(jìn)，隨后柯橋經(jīng)開(kāi)區(qū)（金柯橋科技城）便幫忙對(duì)接本地產(chǎn)業(yè)園，協(xié)調(diào)出2000余平方米的標(biāo)準(zhǔn)化廠房，讓項(xiàng)目投產(chǎn)駛上“快車道”。

如今，公司生產(chǎn)運(yùn)營(yíng)逐漸駛?cè)胝?，氧化鈰拋光液、氧化硅拋光液兩款核心產(chǎn)品達(dá)到量產(chǎn)出貨狀態(tài)，成功直接或間接參與到中芯國(guó)際、京東方等產(chǎn)品的供應(yīng)鏈中，此外公司還在研制Copper BULK拋光液、鎢拋光液等，憑借多元化產(chǎn)品布局，以滿足不同行業(yè)的需求，不斷增強(qiáng)市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力，為紹興半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展提供“底盤”。