潔凈室內(nèi)的氣流是左右潔凈室性能的重要因素，一般潔凈室的氣流速度是選0.25~0.5m/s之間，此氣流速度屬微風(fēng)區(qū)域，易受人、機(jī)器等的動作而干擾趨于混亂、雖提高風(fēng)速可抑制此一擾亂之影響而保持潔凈度、但因風(fēng)速的提高，將影響運(yùn)轉(zhuǎn)成本的增加，所以應(yīng)在滿足要求的潔凈度水準(zhǔn)之時，能以最適當(dāng)?shù)娘L(fēng)速供應(yīng)，以達(dá)到適當(dāng)?shù)娘L(fēng)速供應(yīng)以達(dá)到經(jīng)濟(jì)性效果。另一方面欲達(dá)到潔凈室潔凈度之穩(wěn)定效果，均一氣流之保持亦為一重要因素，均一氣流若無法保持，表示風(fēng)速有異，特別是在壁面，氣流會延著壁面發(fā)生渦流作用，此時要實(shí)現(xiàn)高潔凈度事實(shí)上很困難。

垂直層流式方向要保持均一氣流必須：吹出面的風(fēng)速不可有速度上的差異；地板回風(fēng)板吸入面之風(fēng)速不可有速度上的差異。速度過低或過高（0.2m/s，0.7m/s）均有渦流之現(xiàn)象發(fā)生，0.5m/s之速度，氣流則較均一，一般潔凈室，其風(fēng)速均取在0.25~0.5m/s之間。拆卸式壁板設(shè)計，便于在內(nèi)部對粉塵顆粒過濾器進(jìn)行維護(hù)；循環(huán)氣流或單向氣流模式，當(dāng)加工操作過程中使用有機(jī)溶劑或產(chǎn)生有害煙霧時，需要采用單向氣流模式（電子原器件需要額外的防爆檢測并提供證明）再循環(huán)氣流系統(tǒng)產(chǎn)生的熱量可以通過加裝的冷卻盤管消除；HEPA/ULPA膠封型下沉氣流過濾器可在潔凈工作室內(nèi)進(jìn)行更換，過濾器膠封技術(shù)相比較傳統(tǒng)的密封墊方法在實(shí)際使用中更為可靠。